必威(bw·西汉姆联)

EFEM是半导体工艺设备的尺度组件，是物料搬运系统和各类制程设备高效衔接的重要桥梁。。必威(bw·西汉姆联)EFEM占有齐全自主知识产权，集成公司自主研发的晶圆装载系统、、、大气机械手及晶圆对准装置，可为客户提供种类丰硕的定制化EFEM产品。。必威(bw·西汉姆联)EFEM选取成熟的尺度化、、、？？？榛榧设计，产品质量不变靠得住，不休缩短交货周期，宽泛利用于多个驰名半导体制作工厂。。

产品优势

全自研解决规划

大气手、、、Aligner、、、SMIF，Loadport等主题部件均自主研发

尺寸多样性

有蕴含TSS系列的产品，有1-4工位多种产品

切合SEMI尺度

已通过SEMI S2 F47 认证

兼容性强

可凭据用户的现实需要进行非标定制

产品参数

晶圆尺寸

3 " 4 " 6 " 8 " 12 "

Loadport数量

1 / 2 / 3 / 4

机械手反复精度

≤ ±0.1mm

晶圆传输量WPH

≥200

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400-800-8666

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