必威(bw·西汉姆联)

产品优势
可挂载
可挂载
可挂载到切合SEMI尺度的EFEM上
自动鉴别
自动鉴别
自动鉴别盒内晶圆尺寸以及盒内各槽晶圆状态
防夹手职能
防夹手职能
内置防夹手职能
RFID
RFID
拥有RFID读取职能
产品参数
反复地位精度
±0.1mm
晶圆尺寸
6 " 8 "
下载信息验证

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服务热线

400-800-8666

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业务征询

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公家号

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